光刻机的对准系统的精度，对光刻机的芯片曝光有很大的影响
目前国内的对准系统研究的精度，勉强可以应用要1.5微米的制造工艺上
不过，要特别注明的一点就是，在欧美日，此时已经实现了光刻机上的自动对焦，而国内只能是手动对准
别人的光刻机，单位时间能曝光两百多块晶圆片，而国产的只能曝光十几块
这意味着我们自家生产的，只能在实验室里用用，无法投入到商业应用当中，不然，这成本就能拖死一家芯片加工厂
光刻机的对准系统的精度，对光刻机的芯片曝光有很大的影响
不败战神：完本感言 发表于 2015-09-13 02:00:00目前国内的对准系统研究的精度，勉强可以应用要1.5微米的制造工艺上
顾先生的金丝雀：580：岁岁年年常相见 发表于 2021-09-30 22:10:41不过，要特别注明的一点就是，在欧美日，此时已经实现了光刻机上的自动对焦，而国内只能是手动对准
盛姝：第三百四十八章：她想好好的活着 发表于 2022-08-15 07:18:32别人的光刻机，单位时间能曝光两百多块晶圆片，而国产的只能曝光十几块
沥川往事：第54章 番外：戒指 发表于 2017-08-26 05:22:39这意味着我们自家生产的，只能在实验室里用用，无法投入到商业应用当中，不然，这成本就能拖死一家芯片加工厂
无敌天下：新书《全球修武》发布 发表于 2020-08-11 14:44:26